Kem tahanan Nazi yang pertama mula diwujudkan di Third Reich sendiri sejurus selepas NSDAP berkuasa. Tujuan asal mereka adalah untuk mengasingkan individu yang disyaki menentang rejim baharu. Orang pertama yang berakhir di kem tahanan Nazi pada 1933-34 adalah penentang utama mereka sejak zaman Republik Weimar - komunis dan sosialis. Sudah pada Julai 1933, jumlah mereka yang ditangkap mencecah 26 ribu orang di seluruh negara. Bagaimanapun, selepas
Peringkat pertama, apabila Parti Sosialis Kebangsaan menubuhkan jumlah kuasanya di seluruh negara, jumlah tangkapan berkurangan sedikit. Selain itu, ramai daripada mereka yang ditangkap secara tidak wajar telah dibebaskan.
Zaman sebelum perang
Pusingan baharu tangkapan besar-besaran bermula pada lewat 30-an. Kini kem tahanan Nazi secara intensif diisi semula oleh Yahudi Jerman. Selain mereka, pelbagai unsur asosial seperti pemabuk, gelandangan dan lain-lain sering sampai ke sini. Pada tahun 1938, sehubungan dengan pengambilalihan wilayah pertama, setakat ini tanpa pertumpahan darah (Anschluss of Austria), bilangan tahanan meningkat lebih banyak lagi. Dalam tempoh yang sama, kem mula memperoleh struktur bersatu. Kem tahanan Nazi untuk wanita muncul,seperti, sebagai contoh, Ravensbrück, terletak di Pomerania. Tetapi keseluruhan sistem telah mencapai skop yang benar-benar menakutkan semasa tempoh perang.
Aktiviti semasa Perang Dunia II
Semasa perang, sistem perkhemahan terus berkembang, iaitu semula jadi. Selain tawanan dari wilayah yang diduduki, bilangan tawanan politik Jerman yang membantah dasar agresif Jerman juga meningkat. Terdapat kem bukan sahaja di Reich itu sendiri, tetapi juga di wilayah yang diduduki: Majdanek, Treblinka, Auschwitz dan berpuluh-puluh yang lain, lebih kurang dikenali hari ini. Dasar penganiayaan terhadap homoseksual, sektarian agama, gipsi dan Yahudi semakin rancak. Penyeksaan di kem tahanan Nazi juga menjadi kerap. Selepas pencerobohan Kesatuan Soviet, peringkat paling dahsyat dalam kewujudan struktur ini bermula. Kem tahanan Nazi benar-benar bertukar menjadi kilang kematian. Oleh itu, Auschwitz yang terkenal di dunia telah beroperasi sepenuhnya sejak Januari 1942. Hakikatnya adalah bahawa dalam tempoh inilah NSDAP akhirnya menetapkan laluan untuk pemusnahan sepenuhnya orang Yahudi, selepas itu mereka menjadi mangsa utama kem tahanan. Jadi, Rudolf Hoess, ketua komandan Auschwitz (jangan dikelirukan dengan ahli berpangkat tinggi NSDAP Rudolf Hess, yang, lebih-lebih lagi,
semasa dalam kurungan British) adalah yang pertama menggunakan kristal racun perosak yang dipanggil "Zyklon B" sebagai bahan beracun. Dan dia sangat bangga dengan keputusannya, berulang kali bermegah di kalangan Nazipegawai bahawa ini membolehkan untuk meningkatkan bilangan mangsa dan menjadikan Auschwitz mesin kematian yang paling berkesan dalam keseluruhan sistem Nazi. Satu lagi inovasi jahat kem tahanan ini ialah pembinaan ruang gas yang besar, yang memungkinkan untuk meningkatkan daya pengeluarannya. Oleh itu, sistem penumpuan bos Nazi menjadi salah satu alat terpenting dalam dasar pendudukan yang terkenal dan pemusnahan besar-besaran orang di wilayah yang diduduki.